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采用化学水浴法在玻璃上制备了太阳能电池中的ZnS缓冲层。采用SEM、EDS、XRD和nkd-分光光度计等手段研究了水浴温度对ZnS薄膜的表面形貌、结构和光学性能的影响。结果表明，升高温度不能明显改变薄膜的结晶性、形貌和沉积生长方式，能否成膜与温度的关系也不大，但成膜速率对温度的依赖性较大。随温度的升高，薄膜的透过率先减小后增大，反射率则先增大后减小。对同一试样而言，透过率和反射率对应较好。当温度为70℃时，可制得禁带宽度为3．83eV、符合化学计量比、平整的非晶ZnS薄膜。