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本文介绍了电子回旋共振等离子技术的原理、特征及在半导体工艺方面的应用。
电子回旋共振等离子技术
【摘 要】
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本文介绍了电子回旋共振等离子技术的原理、特征及在半导体工艺方面的应用。
【机 构】
：
中国科学技术大学物理系230026合肥
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1991年6期
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