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用于空间光调制器光敏层的a—Si：H　pin二极管的研制

来源 :南京大学学报(自然科学版) | 被引量 : 0次 | 上传用户：chennyliu

【摘 要】

：

报道了用于光寻址快速空间光调制器光敏层的氢化非晶硅ｐｉｎ光敏二极管的设计、制备及光电特性的研究，制得了符合光敏层要求的ｐｉｎ二极管。 The design, preparation and optoelectron

【作 者】

：

顾晓峰 黄信凡 杜家方 李志锋 陈坤基 

【机 构】

：

南京大学物理系

【出 处】

：

南京大学学报(自然科学版)

【发表日期】

：

1995年02期

【关键词】

：

空间光调制器 Si pin二极管 光敏二极管 氢化非晶硅 薄膜质量 半导体薄膜 扩散长度 光电转换效率 光敏材料 

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报道了用于光寻址快速空间光调制器光敏层的氢化非晶硅ｐｉｎ光敏二极管的设计、制备及光电特性的研究，制得了符合光敏层要求的ｐｉｎ二极管。 The design, preparation and optoelectronic properties of hydrogenated amorphous silicon pin photodiode used in photo-addressed fast space optical modulator are reported.

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