友达6代线试制出微晶硅TFT32in液晶面板

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友达光电(AUO)使用由第6代大尺寸底板生产线的等离子CVD装置形成的微晶硅.试制出了32in电视用TFT液晶面板。与非晶硅(a-Si)TFT相比,采用μc Si—TFT有可能获得更高的迁移率。另外,还可实现用多晶硅(p-Si)TFT难以实现的、基于第5代以后大尺寸底板的工艺。
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