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研究了Ａｌ含量对（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜高温抗氧化性能的影响，并与ＴｉＮ薄膜进行了对比试验，试验结果表明：（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜的抗氧化性能明显优于ＴｉＮ薄膜，随着薄膜中Ａｌ含量的增加，薄膜的抗氧化能力得到改善，特别是当氧化温度≥８００℃后效果更为显著，因为（Ｔｉ，Ａｌ）Ｎ薄膜在高温下氧化时，在薄膜表面形成的是稳定致密的Ａｌ２Ｏ３的缘故。