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设计了由N+1条水平通道、N条竖直通道和2N个微环构成的电光开关阵列器件,并对其传输特性进行了分析。通过在列微环上加载不同的工作电压,实现相应通道的开关功能。以5×4通道8微环结构为例,取波导芯的宽度与厚度均为1.5μm,波导芯与电极之间的限制层厚度为2.0μm,电极厚度为0.05μm,微环与通道之间的耦合距离为0.1μm。当开关电压为8 V时,该器件的插入损耗在2.79~ 4.31 dB范围内,串扰在-20 dB以下,消光比在12.5 dB以上。