溶胶-凝胶旋转涂布法制备的多孔纳米二氧化钛膜的结构和光学性能

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采用溶胶-凝胶旋转涂布技术在石英基质上沉积三种不同厚度的TiO2薄膜,其厚度分别为174、195和229 nm.沉积得到的薄膜是由尺寸为19~46 nm的纳米微晶组成的,并具有较高的多孔结构.测定了薄膜的光学常数,得到了迄今为止报道的最低折射率1.66,并对所得结果进行了讨论.
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