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通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同时指出电离规常数与气体种类有关.
油扩散泵抽空机组对气体抽气速率选择性的分析
【摘 要】
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通过对油扩散泵抽气速率和分子流态下气体流动理论的分析,指出油扩散泵抽空机组对不同气体的抽气速率具有选择性,给出了泵对不同气体与氮气抽气速率比值的计算值和实测值,同
【机 构】
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兰州真空设备有限责任公司
【出 处】
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通用机械
【发表日期】
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2004年6期
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