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介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护.
关于半导体检测分析设备ICP-MS的日常维护
【摘 要】
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介绍了半导体检测设备ICP-MS在半导体工业中的发展及几个重要组成部件的功用,着重介绍了该设备各主要部件的维护.
【机 构】
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北京有研硅股公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2004年4期
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