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通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点，性能以及研制情况，介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
先进的集成微型传感器的研究进展
【摘 要】
：
通过集成微型声传感器、集成微型振动传感器、集成微型传感器组和无线集成微型传感器的结构特点，性能以及研制情况，介绍目前先进的集成微型传感器的研究进展状况。
【机 构】
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西北工业大学工程力学系
【出 处】
：
传感器技术
【发表日期】
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2002年10期
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