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介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了描述.
低量程高精度压力传感器芯片设计与工艺
【摘 要】
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介绍了通过半导体单岛膜结构设计和MEMS工艺技术对扩散硅原理的压力传感器设计及应用进行了拓展.在低量程范围较大幅度提搞了压力传感器精度,并对实现产品关键工艺条件进行了
【机 构】
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天津大学
【出 处】
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微电子学与计算机
【发表日期】
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2008年11期
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