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在加速器的束流诊断中，需要用到高精度运动控制系统。本文采用可编程自动控制器和高精度交流伺服控制组件构建了全数字化运动控制系统，用Embedded Visual C＋＋编程设计了图形用户界面GUI控制软件，并基于以太网建立了远程操作与监控系统。整个方案经测试工作良好，满足了设计要求，交流伺服电机可以实现较高的位置控制精度。