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利用Nd：YAG型金刚石精密激光切割机，采用激光轴向偏焦法对化学气相沉积（CVD）法制备的金刚石膜表面进行扫描式平整化处理，利用扫描电子显微镜（SEM）、粗糙度仪和金相显微镜对平整化后的金刚石表面进行表征，研究了激光充电电压和焦点位置对扫描凹槽宽度和深度的影响，以及扫描间距对平整化效果的影响。研究结果表明：扫描凹槽宽度随激光充电电压的升高而增大；凹槽深度随激光充电电压的升高而增大，随偏焦量的增大而增大。激光轴向偏焦法对CVD金刚石膜进行平整化处理后．其粗糙度显著减小，利用氢等离子体对其表面进行刻蚀处理，能