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KLA-Tencor推出新的CIRCL集成系统
KLA-Tencor推出新的CIRCL集成系统
来源 :中国集成电路 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wsj1234567
【摘 要】
:
KLA—Tencor公司宣布为前沿芯片制造商推出一套新的高产能缺陷检测/复查/量测系统——CIRCL集成系统。
【出 处】
:
中国集成电路
【发表日期】
:
2012年5期
【关键词】
:
集成系统
芯片制造商
量测系统
缺陷检测
KLA
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KLA—Tencor公司宣布为前沿芯片制造商推出一套新的高产能缺陷检测/复查/量测系统——CIRCL集成系统。
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