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本文讨论了强流离子注入机的全机械扫描靶室中实现剂量高均匀性和高重复性注入的变速扫描设计原理及控制技术。
强流离子注入均匀性控制
【摘 要】
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本文讨论了强流离子注入机的全机械扫描靶室中实现剂量高均匀性和高重复性注入的变速扫描设计原理及控制技术。
【机 构】
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机电部第48研究所长沙410111
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1991年1期
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