【摘 要】
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集成电路(Integrated Circuit,简称IC)是20世纪50年代后期--60年代发展起来的一种新型半导体器件。它是经过氧化、光刻、扩散、外延、蒸铝等半导体制造工艺,把构成具有一定功
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集成电路(Integrated Circuit,简称IC)是20世纪50年代后期--60年代发展起来的一种新型半导体器件。它是经过氧化、光刻、扩散、外延、蒸铝等半导体制造工艺,把构成具有一定功能的电路所需的半导体、电阻、电容等元件及它们之间的连接导线全部集成在一小块硅片上,然后焊接封装在一个管壳内的电子器件。本文首先从集成电路的工作原理以及影响集成电路可靠性的主要因素出发,其次对集成电路的可靠性进行分析,最后对我国未来集成电路产业的发展之路阐述了自己的见解。
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