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本文从激光和工程光学角度讨论了高精度线径动态检测系统中对光学设计提出的要求.
线径动态检测系统中的光学设计
【摘 要】
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本文从激光和工程光学角度讨论了高精度线径动态检测系统中对光学设计提出的要求.
【机 构】
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福建师大光学仪器厂,福建师大激光研究所,福建师大光学仪器厂
【出 处】
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光电子·激光
【发表日期】
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1990年03期
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