【摘 要】
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一种特殊设计的容积1.7立方英尺的溅射室已研制出来。它在装炉、出炉过程中能保持高真空。溅射室有六个7英寸直径的钛制衬底托架。由于溅射室在装炉与出炉期间能够与空气隔
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一种特殊设计的容积1.7立方英尺的溅射室已研制出来。它在装炉、出炉过程中能保持高真空。溅射室有六个7英寸直径的钛制衬底托架。由于溅射室在装炉与出炉期间能够与空气隔绝,因此可以保持最大的洁净度与良好的质量控制。钛制衬底托
A specially designed 1.7-cubic-foot sputtering chamber has been developed. It is installed in the furnace, baked to maintain a high vacuum. The sputtering chamber has six 7-inch diameter titanium substrate holders. Since the sputtering chamber can be isolated from air during loading and unloading, maximum cleanliness and good quality control can be maintained. Titanium backing
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