微系统与纳系统技术（下）

来源 :世界电子元器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wangyuange

【摘要】

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三纳系统技术纳系统,或称NEMS,其关键特征尺度在几百到几纳米,它包括纳结构、纳器件和纳系统以及纳米尺度的测控和制造技术等,是纳米技术发展的最终目标之一.与微系统不同,纳

【作者】

：

周兆英冯焱颖袁松梅

【机构】

：

清华大学精密仪器与机械学系

【出处】

：

世界电子元器件

【发表日期】

：

2001年10期

【关键词】

：

微系统纳系统机械电子系统

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三纳系统技术纳系统,或称NEMS,其关键特征尺度在几百到几纳米,它包括纳结构、纳器件和纳系统以及纳米尺度的测控和制造技术等,是纳米技术发展的最终目标之一.与微系统不同,纳系统是以小尺度为特征的,也就是说,纳器件和系统的性质和行为可能是由小尺度所产生的新物理性质所决定的.纳系统技术的关键就在于新原理、新性质的开发和利用.

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