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利用透射式GaAs光电阴极AlGaAs/GaAs外延层的结构特点及其X射线衍射摇摆曲线分析方法,解释了AlGaAs/GaAs外延层摇摆曲线半峰宽和其衍射角角位移随外延层生长温度升高而增大的现象.
透射式GaAs光电阴极AlGaAs／GaAs外延层X射线衍射摇摆曲线研究
【摘 要】
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利用透射式GaAs光电阴极AlGaAs/GaAs外延层的结构特点及其X射线衍射摇摆曲线分析方法,解释了AlGaAs/GaAs外延层摇摆曲线半峰宽和其衍射角角位移随外延层生长温度升高而增大的
【机 构】
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中国科学院西安光学精密机械研究所光电子学研究室
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2002年4期
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