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介绍了对新型发光二极管外延片光致发光系统的改进．以VC．net为语言工具编制软件．对发光二极管外延片关键性能参数的测量结果进行分析，增加了薄膜厚度测量的性能．完善了测量系统的功能。基于PC的检测系统智能化、自动化，实现了对LED外延片的无损、快速、准确的在线扫描测量
基于PC的LED外延片无损检测扫描系统
【摘 要】
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介绍了对新型发光二极管外延片光致发光系统的改进．以VC．net为语言工具编制软件．对发光二极管外延片关键性能参数的测量结果进行分析，增加了薄膜厚度测量的性能．完善了测量系统的
【机 构】
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清华大学物理系
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2009年10期
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