【摘 要】
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介绍对任意厚度极板同样准确并对需要计算的静电性质的任意结构适用的边界元方法解算器,包括那些适于微机电系统的算法.解算器准确度的原因是使用闭形解析表达式的事实,这些
【机 构】
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河北科技大学,理学院,河北,石家庄,050018
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介绍对任意厚度极板同样准确并对需要计算的静电性质的任意结构适用的边界元方法解算器,包括那些适于微机电系统的算法.解算器准确度的原因是使用闭形解析表达式的事实,这些表达式在整个物理范畴对计算感应系数是非常有效的.这样,有可能使边界元方法最严格的近似失效,也就是电荷分布在边界单元上的效应可以用定位在单位元的质心的电荷近似.这里,专心于结构的电荷密度和电容,二者对有效的微机电系统的设计都非常重要。
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