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薄膜材料已经在半导体材料、超导材料、生物材料等方面得到广泛应用。为了得到高质量的薄膜材料，脉冲激光溅射沉积（PLD）技术受到了广泛的关注。文中介绍了脉冲激光溅射沉积薄膜的基本原理及特点，分析了脉冲激光溅射沉积技术在制备高温超导膜、铁电薄膜、生物陶瓷薄膜等功能薄膜方面的应用研究。大量研究表明，脉冲激光溅射沉积是目前最好的制备薄膜的方法之一，具有很大的发展潜力和广泛的应用前景。