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介绍用ＳＩＭＳ、ＴＥＭ、ＳＲＰ等技术检测Ｃａ扩散杂质分布及工艺中存在的问题，提供改进工艺的技术依据。
用SIMS等技术表征镓扩散质量
【摘 要】
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介绍用ＳＩＭＳ、ＴＥＭ、ＳＲＰ等技术检测Ｃａ扩散杂质分布及工艺中存在的问题，提供改进工艺的技术依据。
【机 构】
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上海复旦大学材料科学系
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1994年3期
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