溶胶-凝胶法制备Al_2O_3感湿薄膜

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采用溶胶-凝胶法制备了Al2O3感湿薄膜,并通过大量实验,研究了溶胶的配制,涂覆层数及热处理工艺,对其感湿特性也进行了测试。
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