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采用溶胶－凝胶法制备了Ａｌ２Ｏ３感湿薄膜，并通过大量实验，研究了溶胶的配制，涂覆层数及热处理工艺，对其感湿特性也进行了测试。
溶胶-凝胶法制备Al_2O_3感湿薄膜
【摘 要】
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采用溶胶－凝胶法制备了Ａｌ２Ｏ３感湿薄膜，并通过大量实验，研究了溶胶的配制，涂覆层数及热处理工艺，对其感湿特性也进行了测试。
【机 构】
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哈尔滨科学技术大学
【出 处】
：
哈尔滨科学技术大学学报
【发表日期】
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1994年3期
【基金项目】
：
黑龙江省自然科学基金
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