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集成PMOS环振式压力传感器
集成PMOS环振式压力传感器
来源 :仪器仪表学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chunlai_zhang
【摘 要】
:
制造了一种集成PMOS环振式压力传感器,给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果.
【作 者】
:
岳瑞峰
刘理天
【出 处】
:
仪器仪表学报
【发表日期】
:
2002年z2期
【关键词】
:
压力传感器
频率输出
PMOS环形振荡器
Pressure sensor Frequency output PMOS ring oscillator
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制造了一种集成PMOS环振式压力传感器,给出了它的结构、制造方法和初步的测试结果.
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