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利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上首先制备了掺铝氧化锌（AZO）透明导电薄膜，然后利用5％的氯化钱（NH4Cl）溶液对制备的AZO薄膜进行表面织构。利用扫描电子显微镜（SEM）、四探针法和分光光度计分别测量并研究了织构前后薄膜的表面形貌、电学和光学特性。研究结果表明NH4Cl水溶液容易控制AZO的表面织构过程，并且可以获得较好的绒面。表面织构后，薄膜在可见光波段的平均反射率从12％降低到7．86％，而电阻率略有增大，该结果和表面织构结果一致。