【摘 要】
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光栅横向剪切干涉仪可以实现超高精度的光刻镜头系统波像差检测,为了实现超高精度的绝对检测,必须消除来自干涉仪的系统误差。本文针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测
【机 构】
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中国科学院大学长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室; 中国科学院大学;
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光栅横向剪切干涉仪可以实现超高精度的光刻镜头系统波像差检测,为了实现超高精度的绝对检测,必须消除来自干涉仪的系统误差。本文针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法,并用36项泽尼克多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。实验分析表明,将面形检测的绝对算法应用在检测镜头系统波像差上,干涉仪在系统误差消除后可以达到相对理想的检测精度。本实验数据的重复性的均方根(RMS)可以达到0.14nm。
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