【摘 要】
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微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力的输出，正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要
【机 构】
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清华大学精密仪器与机械学系,日本名古屋大学微系统工学科
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微型电子机械系统（ＭＥＭＳ）与光器件融合于一体的微型光机电系统（ＭＯＥＭＳ）成为ＭＥＭＳ研究的一个重要方向，它将会给光器件的发展带来新的飞跃，而光系统因无需力的输出，正是ＭＥＭＳ的一个理想的应用领域。本文主要介绍几种有突破性的、具有可动部件的微型光机电系统，最后提出一种新型的微光学开关。
Micro-electro-mechanical systems (MEMS) and optical devices into one micro-electro-mechanical system (MOEMS) become an important direction of MEMS research, it will give the development of optical devices to bring a new leap forward, while the light system due to unnecessary Output, it is an ideal MEMS application. This article describes several groundbreaking miniature electro-mechanical systems with moving parts, and finally proposes a new type of micro-optical switch.
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