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SiO_2膜背封片边缘剥离工艺进展
SiO_2膜背封片边缘剥离工艺进展
来源 :电子工艺技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:awper1985
【摘 要】
:
背封工艺是外延衬底材料制备的关键工艺之一,由于硅片背面边缘沉积的Si O2膜,在外延工艺中造成外延片边缘多晶颗粒沉积及应力集中,因此越来越多的外延厂家要求对背封片Si O2
【作 者】
:
高丹
佟丽英
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第46研究所
【出 处】
:
电子工艺技术
【发表日期】
:
2016年4期
【关键词】
:
背封
酸腐蚀
边缘剥离元
back-seal acid corrosion edge stripping
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背封工艺是外延衬底材料制备的关键工艺之一,由于硅片背面边缘沉积的Si O2膜,在外延工艺中造成外延片边缘多晶颗粒沉积及应力集中,因此越来越多的外延厂家要求对背封片Si O2膜进行边缘剥离,主要介绍了几种边缘剥离的方法,并对其各自的特点进行了分析。
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