【摘 要】
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本文阐述了半导体器件模拟中的有限元三角网格误差分析的基本原理，在分析比较了几种误差估计方法之后，选择了一种比较优秀的方法作为自适应网格生成的误差指示器。
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【机 构】
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本文阐述了半导体器件模拟中的有限元三角网格误差分析的基本原理，在分析比较了几种误差估计方法之后，选择了一种比较优秀的方法作为自适应网格生成的误差指示器。
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