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用电子束蒸发方法制备了纯的ZrO2薄膜和含Y2O2摩尔分数为7％和13％的ZrO2薄膜，即YSZ薄膜，通过测定薄膜的损伤阈值来验证温度诱导相变模型；并用X射线衍射（XRD）来测定ZrO2和YSZ镀膜材料和薄膜的结构特征。结果表明：ZrO2镀膜材料和薄膜室温下都表现为单斜相，YSZ镀膜材料和薄膜室温下都以立方相存在；YSZ薄膜的损伤阈值远高于ZrO2薄膜的损伤阈值，这是因为添加ZrO2后的YSZ材料的相比较稳定，在蒸发过程中不会发生相变，而ZrO2材料则发生相变，产生缺陷，缺陷在激光作用下成为吸收中心和初始