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用压缩空气式喷雾热分解法在Ｓｉ（１００）衬底上制备了（１００）取向ＭｇＯ薄膜。结果表明：衬底温度和喷雾速率是制备（１００）取向ＭｇＯ薄膜的关键因素。在６００℃得到了（１００）取向的ＭｇＯ薄膜，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ），原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）分析了薄膜的微观结构。
用喷雾热分解法制备MgO薄膜
【摘 要】
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用压缩空气式喷雾热分解法在Ｓｉ（１００）衬底上制备了（１００）取向ＭｇＯ薄膜。结果表明：衬底温度和喷雾速率是制备（１００）取向ＭｇＯ薄膜的关键因素。在６００℃得到了（１００）取向的ＭｇＯ薄膜，用Ｘ射线衍射（ＸＲＤ），原子力显微镜（ＡＦＭ）和透射电镜（ＴＥＭ）分析了薄
【机 构】
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北京石油化工学院
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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2000年1期
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