纳米光刻技术

来源 :中国新技术新产品精选 | 被引量 : 0次 | 上传用户：eastwood

【摘要】

：

1 前言纳米技术(nanoscalc tcchnology)是一门在0.1-100nm,尺度空间内,研究电子、原子、分子运动规律和特性的崭新高技术学科.它的最终目标是人类按照自己的意志直接操纵单个

【出处】

：

中国新技术新产品精选

【发表日期】

：

2001年Z1期

【关键词】

：

光刻技术纳米制造学离子束分辨力抗蚀剂电子束曝光干涉光刻纳米图形纳米器件多焦面曝光

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

1 前言纳米技术(nanoscalc tcchnology)是一门在0.1-100nm,尺度空间内,研究电子、原子、分子运动规律和特性的崭新高技术学科.它的最终目标是人类按照自己的意志直接操纵单个原子,制造具有特定功能的产品.其中纳米制造学是纳米技术的关键基础,它贯穿整个纳米科学.随着信息高速公路和全球通信技术的高度发展,超高频纳米器件的出现,微

其他文献

台湾的饮料业

期刊

饮料业饮料产品饮料市场

互联网金融背景下商业银行经营策略研究

商业银行凭借着政策、信用发展状况等诸多有利的发展条件在我国经济中占据重要地位。但随着互联网金融公司出现,大数据、云计算等现代网络技术的广泛运用,微信、支付宝等支付

期刊

互联网背景技术改革调整经营策略

浅析法律解释及其方法

回回产卜爹仇贱回——回日E回。”。回祖一回“。回干肉果幻中 N_。NH lP7-ewwe--一”＄ MN。W;- __._——————》砧叫]们羽制作:陈恬’＃陈川个美食 Back to yield

期刊

法律解释诠释方法法律

基于S-LCL补偿的磁共振无线电能传输效率研究

无线电能传输(WPT)技术可以很好地解决目前电动汽车在发展过程中出现的充电难问题,此处基于S?LCL补偿结构的磁共振式WPT,着重研究了影响传输效率的因素,包括耦合系数、线圈内

期刊

无线电能传输电动汽车磁共振式

任务型教学模式在初中英语阅读教学中的应用探讨

新课改工作正在各地学校持续深入进行,任务型教学模式被更多的义务教育阶段的英语老师认可,他们认为这种模式在阅读教学中有着独一无二的优势。在此就该模式的广泛应用加以深

期刊

任务型教学初中英语阅读应用

双酚S合成及精制工艺的研究

学位

双酚S活性炭海泡石水吸附改性

对《冷冲模模架技术条件》中若干问题的商榷

<正> 在GB2851～2875—81《冷冲模》国家标准中,列出了GB2854—81《冷冲模模架技术条件》,该标准是冷冲模模架生产、使用、维修和管理的技术法规和指导性文件,是冷冲模模架专业

期刊

冷冲模模架技术条件标准

我国家电工业的发展战略

今后15年，我国家电工业发展战略是：1调整企业组织结构。通过改组改造、建成一批达到规模经济、实行专业化生产、外向型企业或企业集团；选择一批骨干企业，通过引进国际上的先进技

期刊

家电工业发展战柜式空调器小家电产品电冰箱系列产品洗衣机模糊逻辑国际竞争力产品安全认证

车床配用随行夹具加工高精度孔

<正> 大批量生产加工成组高精度孔,需要以组合机床为主体的加工生产线或自动线;单件小批生产加工成组高精度孔,一般借助块规在普通镗床上完成或利用坐标镗床加工;中小批生产,

期刊

车床夹具高精度孔孔加工

做电路板也要办印刷经营许可证？

近日上海的印制电路PCB企业收到上海市新闻出版局[2014]905号文，文中表述”在生产电子线路板过程中采用丝网印刷是一种新技术、新工艺，类似现象在生产企业中一定范围内存在。在

期刊

经营许可证丝网印刷《印刷业管理条例》电路板PCB企业电子线路板生产企业印制电路

纳米光刻技术

与本文相关的学术论文