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以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料，合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯，并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征，研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明，该产酸剂在常见有机溶剂中表现出良好的溶解性，并在248nm处有好的透明性，可应用于深紫外光致抗蚀剂体系。
一种苯磺酸酯类光致产酸剂的合成与性能研究
【摘 要】
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以苯酐、盐酸羟胺和4-甲基苯磺酰氯为原料，合成了N-羟基邻苯二甲酰亚胺对甲苯磺酸酯，并利用红外、核磁共振和紫外对其进行表征，研究了溶解性、紫外吸收和光刻等性能。结果表明，该
【机 构】
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周口师范学院化学化工学院
【出 处】
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应用化工
【发表日期】
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2014年10期
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