微泵膜片在静电驱动下的计算机模拟

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对微泵膜片在静电力驱动下产生的形变和由此引起的微泵腔体体积的变化进行了计算机模拟分析,得出了膜片厚度,形状和静电驱动电压对微泵腔体体积变化的影响,以及膜片振动的固有频率与膜片厚度之间关系。研究结果为微泵结构的设计优化提供了依据。
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