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立方氮化硼(c-BN)是一种倍受重视的类金刚石材料。在迄今发现的所有物质中,其硬度居第二位(仅次于金刚石)。此外,c-BN还具有远比金刚石高的热稳定性,极其优良的半导体性和光学性能。因此,c-BN在高温耐磨零件,切削刀具、高温电子元件和光学仪器上得到广泛应用。目前所采用的c-BN薄膜的制备方法主要是:化学气相沉积(CVD)、物理气相沉积