GEM状态转换在化学机械抛光设备系统中的应用

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根据Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment(简称GEM)通讯协议的要求,分析了子状态、状态要求、状态转换的条件、触发状态转换的模块等;根据上述不同内容,选择不同的消息传递路径,最终实现GEM状态的转换,为设备端和主机端的交互提供了基本条件。
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