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期刊论文
电子束投影曝光装置实验结果分析
电子束投影曝光装置实验结果分析
来源 :微细加工技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:birdobird
【摘 要】
:
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
【作 者】
:
初明璋
顾文琪
张福安
彭开武
时东霞
【机 构】
:
中国科学院电工研究所,中国科学院物理所
【出 处】
:
微细加工技术
【发表日期】
:
2002年3期
【关键词】
:
电子束缩小投影曝光
聚光镜
投影镜
反差
光刻
electron beam projection lithography (EBPL)
condenser le
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主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
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