论文部分内容阅读
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
电子束投影曝光装置实验结果分析
【摘 要】
：
主要介绍了电子束缩小投影曝光机的工作原理及其特点,针对在原理论证机上做的实验,着重分析讨论了聚光镜电流的大小对曝光结果的影响.
【机 构】
：
中国科学院电工研究所,中国科学院物理所
【出 处】
：
微细加工技术
【发表日期】
：
2002年3期
其他文献
介绍了磁悬浮转子微陀螺的工作原理及有关的微细加工工艺.磁悬浮转子微陀螺的平面线圈是采用光刻、电镀及溅射等微细加工方法来实现的,微转子的加工有冲压、蒸铝沉积等方法,
留取合格的检测样本是生化项目检测的基本要求.本文就溶血和放置时间对生化项目检测结果的影响进行研究,以期为临床提供有参考价值的数据,利于病情的诊断和治疗.
采用组合靶,利用磁控共溅射技术制备了Co1-xPtx:C复合纳米颗粒薄膜,并从实验和理论上对不同Pt浓度CoPt:C薄膜的组分、微结构、磁性能、组分和微结构与磁性能之间的关系以及薄
本文对目前司法实践中的量刑建议权进行了不囿于传统的思考，力图从法律应当对社会需求有所回应的角度来看待量刑建议权中带有的司法的协商性特质，并且指出，这种特质的出现，并非对
【正】 自1998年12月以来,我科开始推行整体护理模式,并且始终将健康教育作为其中一个重要环节。我们的工作受到了病儿及家长的认可。现报告如下:1 根据儿科患儿特点进行教育
本文从案例指导制度的内涵切入，通过与案例、判例等制度的分析、比较，并考虑我国的司法制度特点，将其定位为不具有正式的法律效力、不属于正式的法律渊源，但对于法官在处理同类案
姓的设立是公民姓名决定权的一项主要内容。，由于目前对“子女可以随父姓，可以随母姓”的规定有不同的理解，通过比较国外特别是法国、德国以及我国港澳台地区的立法例，从姓氏和婚