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在ITO衬底上电沉积了Co掺杂ZnO薄膜。x射线粉末衍射（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）结果表明Co掺杂并没有改变ZnO的六角纤锌矿结构，但可以在一定程度上改变晶体的形貌。室温光致发光光谱（PL）结果表明co掺杂导致薄膜的带隙变窄。磁性测试结果表明，10％Co掺杂样品室温下呈现顺磁性，而5％Co掺杂样品在室温下呈现铁磁性，我们认为其铁磁性是由co掺杂引起的缺陷导致的。