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薄膜激光干涉仪是一种测量薄膜光学参数的新工具，它是利用两束激光从被测薄膜两侧入射，这两束平面单色相干光经过样品的透射和反射产生干涉来测量薄膜的厚度及复数折射率。这种方法的特点是能够一次测量确定薄膜的三个光学参数。目前常用的椭偏光仪法一次测量只能确定薄膜的两个光学参数。本仪器尤其适用于弱吸收透明薄膜的测量。此外测量数据是自校准的。光源可以用氦氖激光或所需的其它波长的激光。光强1．5mw，对光强稳定性无特殊要求。