利用LIF法诊断微波等离子体鞘层

来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ciha
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简要地阐明了利用激光诱导荧光法(LIF)诊断等离子体特性的原理,分别对二能级情况(共振荧光)与三能级情况(非共振荧光)采用饱和荧光法测量粒子浓度的公式进行了推导.在此基础上,提出了利用LIF法测量微波等离子体鞘层(特别是高压脉冲动态鞘层)的组分及其空间分布与能量分布的实验方法 The principle of using laser induced fluorescence (LIF) to diagnose plasma properties is briefly described. The formula for measuring the concentration of particles by the saturated fluorescence method at the two levels (resonance fluorescence) and the three levels (nonresonance fluorescence) Derived. On this basis, the experimental method for measuring the composition of the microwave plasma sheath (especially the high-pressure pulse dynamic sheath) and its spatial distribution and energy distribution by LIF method
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