背散射技术用于表面微分析

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引 言 用离子加速器的离子束进行物质分析是近十年发展起来的有效的实验方法.它包括背散射、质子荧光分析和核反应三种方法.这些方法各有特点,互相补充[1],背散射用来分析样品表面下组成的变化或着杂质的深度分布特别合适.其主要优点是简便、直观、定量、可靠,对样品无损伤.与? Introduction Ion-beam ion-beam mass spectrometry (ION) is an effective experimental method that has been developed in recent ten years and includes backscattering, proton fluorescence and nuclear reactions. Each of these methods has its own characteristics, complement each other [1], backscatter It is particularly suitable for analyzing changes in the composition of the subsurface of the sample or for the depth profile of the impurities, with the main advantages of being simple, intuitive, quantitative and reliable without damage to the sample.
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