【摘 要】
:
研究了激光退火工艺中由于硅片表面图形/颗粒诱生的波纹结构和形成波纹的临界能量,分析了波纹产生的机理,并提出了预防措施。使用原子力显微镜(AFM)观察波纹的形貌,通过俄歇
论文部分内容阅读
研究了激光退火工艺中由于硅片表面图形/颗粒诱生的波纹结构和形成波纹的临界能量,分析了波纹产生的机理,并提出了预防措施。使用原子力显微镜(AFM)观察波纹的形貌,通过俄歇电子能谱(AES)对形成波纹的纳米颗粒进行了分析,结果表明,在硅片表面颗粒周围形成水波状波纹,在氧化层图形边界随着氧化层窗口尺寸由小到大出现从水波状波纹到辐射状波纹的转变。波纹的形成是表面应力、表面散射波和边界效应综合作用的结果。表面图形/颗粒所诱生的源漏区表面波纹会引起器件性能的下降以及晶圆成品率的降低。激光退火前的晶圆制造工艺中应减少表面的颗粒或缺陷的产生,激光退火工艺中尽可能提高表面的光学一致性,避免将SiO2作为硬掩膜。
其他文献
随着我国经济发展,技术创新在其中所起到的重要作用已日益受到重视,评析国内外企业对技术创新的应用现状及必要性,对如何加快我国国企技术创新步伐提出了具体措施,在此基础上
铁路是我国经济的大动脉,尤其是客运面向亿万旅客服务,如何对其提供的无形服务产品的质量进行量化考察,是悬而未决的理论和实践问题。本文借鉴现代服务营销理论,结合铁路客运
从拓展训练起源、被高校引入及开展的必要性谈起,详细阐述了高校拓展训练项目的设计依据、理论架构、项目设计思路和方向,为拓展训练理论研究和教学实践提供有价值的模式和依
随着教育的不断改革和发展,我国职业教育事业也在快速的发展与壮大,其表现一方面是招生的规模在扩大,另一方面是固定资产方面加大了投入的力度.但是,中职学校在对固定资产管
简述了压力管道用安全阀的分类及选择,通过实例介绍如何选用安全阀。
超声波具有传递能量和传递信息的功能,因此超声检测技术应用广泛。目前通过超声检测技术可以成功定位到缺陷的位置和计算缺陷的大小,但是对于缺陷类型的识别还存在一定的难度
[目的]探讨饲料中添加不同浓度瑞康3号(壳聚糖和益生菌的混合物)对黄颡鱼(Pelteobagrus fulvidraco)生长性能和非特异性免疫机能的影响。[方法]在基础饲料中分别添加0(对照组
通过现场听课、个别访谈、集体座谈等调研发现贵州民族地区农村小学英语教学的基本情况主要表现为:(1)师资力量严重不足、教师素质普遍偏低;(2)教学条件有限、硬件设施稀缺、教学
<正> 审计机关代表国家利益,对被审计单位进行审计监督活动。本文就被审单位如何接受审计监督,自己享有哪些权利,应承担哪些义务,谈点肤浅看法。一、明确审与被审之间的关系
研究了分光光度法测定莫能菌素发酵液中油含量的方法。检测波长为715nm时,莫能菌素发酵液中油含量在0.4~2.0mg/mL范围内,与吸光度呈线性关系,相关系数0.9999(n=5),回收率为100.3%,RSD为0.872