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本文介绍了高分子在电子束作用下的主要反应以及感电子束和x-射线的各类高分子材料;同时简单介绍了为提高分辨率而新发展的新工艺——反差提高层。更多还原
高分子电子束抗蚀材料
【摘 要】
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本文介绍了高分子在电子束作用下的主要反应以及感电子束和x-射线的各类高分子材料;同时简单介绍了为提高分辨率而新发展的新工艺——反差提高层。更多还原
【机 构】
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中科院化学研究所,中科院化学研究所
【出 处】
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感光材料
【发表日期】
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1993年2期
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