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在镀层氧化膜厚度测量过程中,传统的图像处理镀层氧化膜厚度测量方法,由于镀层氧化膜较薄,采集图像的过程不易实现,存在得到的测试结果不准确、测试精度下降、抗干扰性差等问题.提出改进遗传算法的镀层氧化膜厚度测量方法,根据镀层氧化膜厚度的测量原理,结合传统镀层氧化膜厚度测量方法,构建遗传算法模型,并对遗传算法进行改进设计.通过改进的遗传算法模型,来求解镀层氧化膜厚度的最优值,该最优值即为所求的镀层氧化膜厚度.实验结果表明,改进遗传算法能够提高测量精度,并且有不易受外界环境干扰等优势.