ULSI制备中Cu布线的CMP技术及抛光液的研究

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对 ULSI制备中铜布线技术作了系统的介绍。对 CMP相关技术到抛光机理、浆料的种类及成分均作了整体的分析和论述,并对目前存在问题及解决的方法和发展方向进行了分析和讨论。此外,还对新研制的一种新型、高效、无污染的浆料进行了介绍。 The ULSI preparation of copper wiring technology made a systematic introduction. The related technologies of CMP are analyzed and discussed about the polishing mechanism, the type and composition of the slurry, and the existing problems and the methods and directions of development are analyzed and discussed. In addition, a new, highly efficient, non-polluting slurry was developed.
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