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设计制造了基于微型加热器平台（MHP）的甲烷气体传感器.微加热器平台因其功耗低、体积小等特点可广泛应用于半导体气体传感器中.微加热器平台的制作是基于IC兼容的MEMS工艺完成的,利用模板法在MHP上原位制备二氧化锡（SnO_2）有序多孔薄膜得到微纳融合气体传感器.利用这种方法制造的传感器功耗仅39 m W,响应时间2 s,对714 mg/m3甲烷的响应可达到1.19,对甲烷的探测下限可达18 mg/m3.此高性能、低成本的传感器有望在生产生活、安全监控等方面得到广泛应用.