P型氮掺杂ZnO薄膜的光学特性研究

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【摘要】

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以N2为P型掺杂源,利用射频磁控溅射技术,通过改变O2:N2比制备了不同N掺杂量的P型ZnO薄膜,详细研究分析了N掺杂ZnO薄膜的PL谱及电学性能.结果表明,随着O2:N2的变化,不仅薄膜的

【作者】

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郭松林徐小勇施卫国

【机构】

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萍乡高等专科学校化学工程系,江西萍乡,337055萍乡高等专科学校化学工程系,江西萍乡337055;湖南大学材料科学与工程学院,湖南长沙410082;

【出处】

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真空

【发表日期】

：

2012年6期

【关键词】

：

磁控溅射 P型ZnO 红移施主缺陷受主掺杂

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以N2为P型掺杂源,利用射频磁控溅射技术,通过改变O2:N2比制备了不同N掺杂量的P型ZnO薄膜,详细研究分析了N掺杂ZnO薄膜的PL谱及电学性能.结果表明,随着O2:N2的变化,不仅薄膜的峰位发生了变化,其强度也进行相应的变化.当O2:N2为10:10时,薄膜具有三个发光峰,且UV峰发光强度最大,此时薄膜呈现出明显的P型特征.

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