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简要介绍了当前低成本太阳电池的现状,对硅基异质结太阳电池的构成进行简要分析,简述了如HIT、a-C/c-Si、a-C/C60/c-Si以及nc-Si/mc-Si等几种高效硅基异质结太阳电池的研究,并介绍了太阳模拟软件对硅基异质结电池工艺参数的模拟结果。最后介绍了Si/Ge/Si双异质结太阳电池的制备技术,并对基于硅基异质结高效低成本太阳电池的发展进行展望。